中國科學院微電子研(yan)究所(suo) KW-4A型(xing)臺式勻膠(jiao)機(ji)(ji)/旋涂(tu)儀/涂(tu)膠(jiao)機(ji)(ji)

產品簡介(jie) 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產品主要特(te)點 

1、開關電流調速，穩定性能(neng)更(geng)好(hao)，轉速調節以(yi)數字顯示(shi)為準。 

2、轉速在(zai)500～8000轉／分范圍內非常穩定。   

3、采(cai)用(yong)雙(shuang)轉(zhuan)(zhuan)速(su)(su)。在啟動(dong)之后，先以低速(su)(su)運(yun)轉(zhuan)(zhuan)，使膠(jiao)攤開，然后自動(dong)轉(zhuan)(zhuan)換到高速(su)(su)運(yun)轉(zhuan)(zhuan)。兩(liang)種(zhong)轉(zhuan)(zhuan)速(su)(su)及相應的(de)時間分別可調，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘(zhong)。 

4、具有(you)定(ding)時功能。  

5、測(ce)速(su)采(cai)用光電的辦(ban)法，產(chan)生光電脈沖，由(you)晶體分(fen)頻測(ce)速(su)準(zhun)確(que)性高。  

6、"吸(xi)片"采用(yong)電磁(ci)閥控(kong)制(zhi)氣路，一(yi)個氣泵可同時(shi)帶(dai)幾臺(tai)勻膠機工(gong)作，適合流水線(xian)的工(gong)藝，提高了效(xiao)率。   

7、在(zai)安裝結構上，采取了(le)減(jian)振措施(shi)，保證了(le)在(zai)運轉時噪音低。 

性能指標：